Bitte benutzen Sie diese Kennung, um auf die Ressource zu verweisen:
http://dx.doi.org/10.25673/6164| Titel: | Bestimmung organischer Kontaminationen auf Waferoberflächen |
| Autor(en): | Hernsdorf, Anne |
| Gutachter: | Prof. Dr. rer. nat. Cepus, Valentin |
| Körperschaft: | Hochschule Merseburg |
| Erscheinungsdatum: | 2015 |
| Typ: | Hochschulschrift |
| Art: | Masterarbeit |
| Sprache: | Deutsch |
| Herausgeber: | Hochschulbibliothek, Hochschule Merseburg |
| URN: | urn:nbn:de:gbv:542-1838 |
| URI: | https://opendata.uni-halle.de//handle/1981185920/12975 http://dx.doi.org/10.25673/6164 |
| Open-Access: |  Open-Access-Publikation |
| Enthalten in den Sammlungen: | Ingenieur- und Naturwissenschaften |
Dateien zu dieser Ressource:
| Datei | Beschreibung | Größe | Format | |
|---|---|---|---|---|
| HernsdorfAnne_Bestimmung_organischer_Kontaminationen_Waferoberflächen.pdf | 2.67 MB | Adobe PDF |  Öffnen/Anzeigen |